电子重生-第167章
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这个时候我们不用着急，着急的应该是尼康。”
“好，看我不把东芝榨出油来！”汤军凶狠的露出他的后槽牙，显然是要大开杀戒了。
艰苦的谈判一直持续了一周，汤军作为后世知名的职业经理人，也确实是为泛翰集团争取到了最好的条件。只要满足了东芝的要求，各种0。5微米工艺的芯片生产设备，就可以敞开了的向泛翰集团出售。除此之外，连nand内存的生产专利授权，也获得了十年的延长期。u盘的技术专利虽然需要向东芝进行授权，但却是使用百分比抽成的方式。最终售价百分之十的专利费，颇有点后世高通的无耻风采。
当然，尼康为此向东芝提供了什么样的报酬，那就不得而知了。总之很长一段时间里。汤军都对这次谈判抱以津津乐道的态度。
整个调查组在谈判结束的第二天，就飞快的组建完成了。这里不仅有尼康的编外人员。甚至还有日本政府通产省的官员。不过不管来源如何，从官方层面上他们都是东芝的考察团成员。
“北大路先生。你这边请。”笑扉扉一脸不耐烦的，为日本调查团带着路。
虽然成为了泛翰研究院的院长，但笑扉扉似乎并没有对内部规章进行什么改变。严格的安保制度下，日本调查团的行动自由是受到严格限制的。一行十多人的队伍，配合上十多人的安保人员，以及一个五人的接待团队，组成了一个将近四十人的参观队伍。
原本只以为是来技术落后的中国，进行一次考察的日本调查团，在这种严密的保安条件下。反而升起了兴趣。时至今日，泛翰研究院实际上不过完成了两条0。8微米线向0。5微米线的改造，u盘芯片的产能，也控制在两万片左右。这点产量和intel或者东芝比起来，都是不值一提的数量，相应的倒也暂时没有建设专门晶圆厂的必要。
北大路拓也虽然是调查团明面上的团长，但整个调查团里看起来脸上最难看的，却是城三太郎和松田礼人。
“松田君，你看到那个了吗？”城三太郎悄悄的捅了捅松田礼人。抬了抬头向一侧的实验室里示意。
“那是？”松田礼人是通产省这次私下派出的公务员，毕竟不论是日本政府还是美国人，都会对中国的芯片制造技术程度感兴趣。如果想解除0。5微米芯片生产线的对华出口禁令，通产省是绝对绕不开的一座大山。
“很可能是铬原子沉积用到的高真空产生设备。这是纳米光栅研究的重要设备。”城三太郎作为尼康光学试验室的重要成员，对纳米光栅的研究当然不陌生。可以说光刻机主要部件光学镜头的分辨率，是和纳米光栅能够测量的极限有着直接关联的。能够在泛翰研究院看到纳米光栅的研究。这实在是让他吓了一跳。要知道纳米光栅使用的原子沉积设备，也只有英国剑桥和芬兰的beneq这两个机构能够提供。
即使最终调查结果表面。泛翰集团没有掌握0。5微米线的技术，尼康也有必要把其提升到值得关注的级别。愿意下力气去投资研究原子沉积和纳米光栅的机构。绝对是不能小看的对手。
“这应该是中国水平最高的实验室了吧？”松田礼人能被通产省派出来，和城三太郎共同承担对泛翰集团的调查，当然不会是个草包。虽然在具体的研究领域，他的水平不值一提。但他在日本政府里，却是难得的对华技术专家。很多次日本政府对中国的技术考察团队，都有着他的身影。
只要稍稍把国内其他科研院所的条件，和泛翰帝都研究所进行比较，不难得出它在国内的建设水平。
“请等一下！”城三太郎眼神一缩，突然站出来大喊一声。
“扉扉女士，我能进入这间实验室参观一下吗？”城三太郎指着他们经过的一间实验室，略微有些激动的喊道。
笑扉扉拢了拢耳边的头发，略微有些慵懒的说道：“你是……哦，城三先生，请问有什么问题吗？我们这次参观的目的地是nand内存的生产线，非必要科室原则上是不能参观的。”
“嗨，请务必让我参观一下这个实验室！”城三太郎深深的鞠了一躬，恳切的说道：“如果我没看错的话，这应该是个激光实验室吧。”
笑扉扉敛住了笑意，看了城三太郎一眼，面无表情的说道：“对不起城三先生，你的问题我不能回答，请不要给检查团的行程添加麻烦。”
城三太郎直起腰来，皱着眉头请求的看向前面的领队北大路拓也。在日本使团里面，唯一有权力变更参观项目的，恐怕只有他了。
“笑桑，我们的协议是对泛翰研究所进行参观，并没有限定某个研究科室吧。”北大路拓也硬着头皮凑了上来，作为东芝的考察团长，他并不希望和泛翰集团把关系弄的很僵硬，毕竟u盘专利授权还捏在人家的手里。
笑扉扉摇了摇头：“但是也不可能任由你们进行参观吧？我们的考查范围是在之前的谈判中确定好的，这个实验室并不在考查范围之内。”
“事情总有变化嘛！”北大路拓也在松田礼人逼视的目光下，只好硬着头皮上阵了：“谈判里的条件，也是和芯片生产线相关的技术研究单位，如果这个实验室是个激光实验室，我认为显然和芯片生产技术相关。”
负责接待的泛翰帝都研究所运营部门负责人赵大健突然插进话来，紧接着笑道：“北大路先生既然想参观，那就简单的看两眼好了。正好东芝集团也是在日本非常著名的科技企业，说不定还能在这方面对我们有所指导……”
松田礼人挑了挑眉毛，看向了北大路拓也，微微的点了点头。他在赵大健的身上，看到了过往在中国研究所参观时候的普遍态度。那就是对中国自己技术的不自信，有的人不自信会导致盲目自大，有的人不自信却会导致严重的自卑。
显然，这个赵大健很可能就是后者。再从他的身份上看，目前的芯片生产线是归属于运营部负责的。在泛翰研究院里，最希望能够从东芝引进0。5微米生产线的，肯定就是这个赵大健。一旦掌握的生产线数量增加，运营部很可能就会从研究院中独立出来，成为一个晶圆厂。
日本人在参观之前也是做过功课的，泛翰研究院虽然安保措施很严密，但这些基本的内部结构还是很容易能够获得。北大路拓也在松田礼人的暗示下，很快也就明白了问题的突破点在哪里。
“啊，没错！我们东芝的激光技术，在日本还是非常不错的。如果能够有幸参观一下泛翰集团的实验室，说不定我们可以互相交流一下……”
北大路拓也这话说的自己都有些脸红，东芝又不是尼康，在激光器方面的研究非常有限。能扯得上关系的，最多也就是激光打印机或者发光二极管这种级别的技术而已。和光刻机所涉及到的准分子激光相比，根本就是一个天上、一个地下，互相交流纯属扯淡。
“那就太好了！”赵大健才不管北大路拓也扯的什么借口，最后只要0。5微米生产线能够到手，实现运营部扩建成晶圆厂的目标，技术开发部门这边是死是活和他有什么关系？
至少在松田礼人的眼里，赵大健的表现，一定是对应了这种心理活动吧。中国人向来喜欢互相拆台，眼光短小、又非常迷信外国技术……
“赵部长，你怎么能这样！”笑扉扉跺着脚，拦在他的面前，恼怒道：“这个激光实验室是泛翰研究院的一级核心实验室，没有我的同意任何外部人员都不能进入的！”
赵大健却根本不卖她这个院长的帐，仗着自己男人身强力壮的优势，用力将她推到了一边，哼道：“让开，你懂什么？误了我们运营部进口生产线的大事，你这个院长也是要当到头的！”
说完，赵大健用自己的id卡划开大门，笑着为日本调查团领路道：“诸位，欢迎参观我们的激光实验室！”
第二百九十四章截胡
“北大路先生，你看我们的激光技术怎么样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研究院自行研制的，能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本检查团领进了实验室。
一七三所前研究员江清月，正是在这个实验室里，进行着自己的工作。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性进行的描述，而是特指的发出激光物质为准分子。
准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，由于激光是在气体受到外来能量的激发，所引起的一系列物理及化学反应中，曾经形成但转瞬即逝的分子发出的，所以被称之为准分子激光。
这种激光的一个特点是寿命极短，只有几十毫微秒的时间。超过这个时间，发出激光的分子，就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光，就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时，193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。
江清月在众人进入的时候，正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器，测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。
城三太郎几乎是看到的第一眼，心里就大喊了一声“八嘎雅路！”。从几组透镜的布置来看，泛翰集团显然已经是在研究0。35微米工艺的光刻机了！光刻机的加工精度不同，使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。
作为尼康光刻机项目的参与者。城三太郎对当前最先进的0。35微米工艺光刻机，透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定。泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路，实现技术突破恐怕只是时间问题了！
“赵部长。你这是做什么？”江清月看到一行人挤进了实验室里，皱着眉头问道。
“小江啊，快来我给你介绍一下！”赵大健呵呵笑着，摆了摆手说道：“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团，给国际友人们汇报一下咱们的研究进度，说不定还能给你的项目指点一二呢。”
江清月疑惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研究院只是比较基层的研究员，级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去。却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。
“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头，在经过多次反射折射之后，进行色差补偿的方案……”
“色差补偿！”城三太郎微微一愣，脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑，那么听到江清月的研究内容，就几乎是坐实了泛翰集团在0。35微米工艺的技术上，肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域，非常重要的内容。通过使色差最小化。能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。
这些技术难题，直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节，每一点改进都意味着距离成功更近了一步。
“我能看看你们的实验记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或许可以摆一个花架子来骗他。但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来，那更说明他们掌握了这项技术……
“小江，还不快把你们的实验记录拿出来。给城三太郎先生看看？”赵大健说着，还回过身来致歉道：“城三先生是东芝方面的光刻技术专家。您稍微指点两句，肯定会让我们获益良多。”
“哪里。我想以中国人的智慧，一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录，也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人，对汉语阅读就越流利，倒是不用担心他会看不懂实验记录。
城三太郎打开实验记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行，产生的变化都不相同。193nm的准分子激光，想要应用在光刻机上，就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料，全面的了解镜头对激光产生的所有影响。
从实验记录的结果上面来看，显然泛翰集团已经对高密度石英，进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80％的水平，要知道当全部测试完成之后，接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段，基本就可以看做是0。35微米工艺光刻机技术开发，进入到最后的步奏了。
“赵桑，这些数据都是你们自己的镜头，测试出来的结果吗？”城三太郎颇为焦急的问道，他这样的问题可以说是非常的不礼貌，但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。
能够测试出完全正确的镜头数据，这说明中国人已经掌握了0。35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说，简直就像是在乡下小河沟里，突然钓出来一条大白鲨一样。
当今国际上，如果把芯片生产技术分成三个档次。那么1。2到0。8微米，可以算是上点档次的三流技术，至于1。2微米以上、乃至2微米以上的技术，已经基本没有存在的价值了。而0。5微米技术，可以算是二流技术，是当今世界上晶圆厂的主流水平。至于0。35微米工艺，就连尼康也不过才刚刚掌握而已。
这突然之间，在中国这种科技荒漠的国度里，城三太郎竟然发现了世界一流的光学镜片加工水平，岂不是太过于荒谬了吗！
这点把戏说穿了，其实毫不奇怪。周硕穿越前的二十年后，高密度石英材料早就已经被研究个透了。虽然没有各项镜片的具体实验数据，但其本身的各项特性却根本不是秘密。从基础数据进行反向推算，很容易就能得到理论上的实验数据。当然这些数据在1995年的城三太郎看来，没有经过试验是绝对不可能得到的。
中国人什么时候有这种水平了？这不科学啊！收起心中的惊讶，城三太郎表面上平静下来，假意摇头道：“你们在没有外部帮助的情况下，能够做到这一步确实非常的不容易了。不过目前看来石英材料带来的折射率，还是无法满足技术需要的。在我们日本，更加倾向于使用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2。1折射率，能够极大的缩小线宽工艺。”
城三太郎这话说的也是半真半假，他当然不可能拿纯粹的假话来糊弄。泛翰研究院能够走到这个地步，没有点技术功底是不可能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工，对激光的影响和石英材料也完全不同，如果泛翰研究院真的转头去研究这种材料，恐怕十年内都没有希望获得成果。
“真的？”赵大健脸色瞬间变得很坏，向江清月训斥道：“小江你们激光实验室是怎么回事？即使不能追上国际先进水平，但追踪国际水平也做不到吗？你听听，人家日本已经在使用镥铝柘榴石来制作镜头了，你们还在做石英材料的试验，这怎么能够满足我们运营部的需求？”
“这……”江清月的脸色不由得难看起来，有些生气的说道：“我们的技术路线不同，未必就不能继续沿用石英材料镜头吧？何况现在研究院已经在这项实验上投入了很大一笔资金，这时候再更改研究方向，集团哪里拿得出来这笔钱？”
“这你怕什么？集团很快就能得到一笔一亿美元以上的订单，到时候自然有资金继续进行投入……”赵大健说了两句，突然意识到当下的场合，连忙收住了嘴巴，冷冷的哼了一声道：“这个问题上面自有考虑，激光实验室先把石英材料的试验停下，做一做镥铝柘榴石的预研吧。”
一旁的日本翻译，准确的将江清月的这句话翻译了过去，这�
